과제번호
202402620001
과제명
반도체 에코팹 모니터링 시스템 구축/인프라환경 모니터링 연구 및 반도체 장비팹 300mm PECVD 활용 ACL 공정개발/실무실습 교육과정 개발
지원기관
삼성전자(주)
학과명
반도체공학과(자연)
연구책임자
홍상진
연구기간
2024-09-01~ 2026-08-31
연구비총액
220,000,000원
등록일
2024-10-08
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