강의계획서
| 교과목코드 | SE230010 | 교과목명 | 플라즈마프로세스 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 반도체공학과 | 교수 | 민경진 |
| 교수소속 | 반도체공학과 | 이수학년 | |
| 과목구분 | 과정구분 | 석·박사공통 | |
| 이메일 | mgj11@naver.com | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 반도체 Market 동향 |
| 2주차 | 반도체 Transistor 특성 |
| 3주차 | 반도체 DRAM 특성 |
| 4주차 | 반도체 NAND 특성 |
| 5주차 | 반도체 Gas |
| 6주차 | 반도체 Plasma |
| 7주차 | 반도체 Plasma Source |
| 8주차 | 중간고사 |
| 9주차 | Etch Equipment and Process 1 |
| 10주차 | Etch Equipment and Process 2 |
| 11주차 | PECVD Equipment and Process 1 |
| 12주차 | PECVD Equipment and Process 2 |
| 13주차 | ALD/ALE Equipment and Process 1 |
| 14주차 | ALD/ALE Equipment and Process 2 |
| 15주차 | 기말고사 |
| 16주차 |