[20-2]EUVL mask 보호를 위한 CNT Pellicle 제작과 RESCAN 장비의 필요성
작성일
2021.01.15
수정일
2021.01.15
작성자
유*영
조회수
6554
신소재공학과 20학년도 2학기 캡스톤디자인 설계경진대회
작품명: EUVL mask 보호를 위한 CNT Pellicle 제작과 RESCAN 장비의 필요성
설계조: CNT 펠리클조
조원: 손민우, 이승원, 이주현, 이진석, 정민교
지도교수: 김동훈
첨부파일
20-2캡스톤디자인 발표자료_CNT펠리클조(손민우_김동훈 교수님).pdf